9月27日，津西集團東方晶源自主研發的國產首臺電子束芯片檢測設備，歷經5年不懈努力，打破國際壟斷走向產線，交付中芯國際應用驗證，拉開了國產電子束芯片檢測裝備應用的新篇章，為新中國成立70周年獻上一份厚禮。
北京經(jing)濟技術(shu)開發區、北京經(jing)濟和(he)信息(xi)化局、中(zhong)科院微電子所、北京亦莊(zhuang)國際投資發展有限公(gong)司(si)、新華社戰略咨(zi)詢(xun)中(zhong)心、中(zhong)芯(xin)國際等單位領導和(he)嘉(jia)賓出(chu)席(xi)(xi)，中(zhong)國東(dong)方集(ji)團董(dong)事(shi)局主席(xi)(xi)兼首席(xi)(xi)執行官(guan)、津西集(ji)團董(dong)事(shi)長兼總裁韓敬(jing)遠，東(dong)方晶源干部員工代表參加儀式。
電子(zi)束缺陷檢(jian)測設備，是(shi)國產微電子(zi)領(ling)域短板中(zhong)的短板。津(jin)西(xi)集團高新(xin)科(ke)技子(zi)公司東方晶源自(zi)主研發的電子(zi)束芯片(pian)(pian)檢(jian)測設備，針(zhen)對20納米以下先(xian)進芯片(pian)(pian)制程進行(xing)在(zai)線缺陷檢(jian)測、復檢(jian)及缺陷自(zi)動分類，應用于半導體(ti)（芯片(pian)(pian)）代工(gong)廠。
津西集團高新科技子公司東方晶源，是集團實施“專、長、高”戰略的重要組成部分，即以“高”字跨行業發展，進軍微電子高新科技產業。
中芯國際是世界領先的集成電路企業之一，也是國內技術最先進、配套最完善、規模最大的集成電路制造企業。
津西集(ji)團(tuan)電(dian)子(zi)束芯片(pian)缺陷檢測(ce)設(she)備下線(xian)并交(jiao)付中芯國(guo)(guo)(guo)際產線(xian)驗證，打(da)破國(guo)(guo)(guo)際壟斷，實現從無到有，邁(mai)出重要一(yi)步，津西集(ji)團(tuan)將與中芯國(guo)(guo)(guo)際等國(guo)(guo)(guo)內(nei)集(ji)成電(dian)路企業(ye)(ye)一(yi)起，以更(geng)加濃厚(hou)的家國(guo)(guo)(guo)情懷，把高(gao)新科技子(zi)公(gong)司做(zuo)(zuo)大、做(zuo)(zuo)精、做(zuo)(zuo)強，打(da)造國(guo)(guo)(guo)內(nei)乃至(zhi)國(guo)(guo)(guo)際領先的微電(dian)子(zi)行業(ye)(ye)高(gao)科技公(gong)司，掀開高(gao)質量發展(zhan)新篇章，為(wei)振興民族工業(ye)(ye)貢獻(xian)更(geng)大力(li)量。
納米級電子束檢測
芯片制造(zao)進入20納米及以(yi)下節點后，關鍵制程(cheng)的(de)尺(chi)寸測量和(he)缺陷檢測的(de)精確性(xing)和(he)有效性(xing)將對產品良率產生決定性(xing)作用(yong)(yong)(yong)。納米級電(dian)(dian)子束檢測設備主要利用(yong)(yong)(yong)掃(sao)描(miao)電(dian)(dian)鏡的(de)原理實現(xian)納米級成(cheng)像并基于成(cheng)像進行測量和(he)分析(xi)。該設備主要應(ying)用(yong)(yong)(yong)在芯片制造(zao)關鍵制程(cheng)，屬于芯片制造(zao)過程(cheng)中良率檢測和(he)控制的(de)必需環(huan)節，此類(lei)設備和(he)技(ji)術是我國集成(cheng)電(dian)(dian)路(lu)行業“卡脖(bo)子”技(ji)術之一，填補了此項(xiang)技(ji)術的(de)國內空白。